干式螺桿真空泵主要使用一對螺桿，其特征是兩個(gè)螺桿通過動(dòng)平衡進(jìn)行精細(xì)平衡，并由軸承支撐，安裝在泵殼中，并且螺釘與螺釘之間有一定的間隙，這樣就制成了干式螺桿真空泵。在工作過程中，彼此之間沒有摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，在工作室中沒有潤滑，并且干式螺桿泵可以去除含有大量水蒸氣和少量灰塵的氣體，并具有最高的真空度更高。但是，中國使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。

　　干式螺桿真空泵，它使用一對螺釘將泵殼中的吸氣和排氣泵出，以便同時(shí)進(jìn)行高速反向旋轉(zhuǎn)。它的優(yōu)勢彌補(bǔ)了油封真空泵的不足，我們都稱其為油封真空泵的升級版。但是，干式螺桿真空泵的成本也是其缺點(diǎn)。接下來，主要介紹其優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)：

　　1、工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均具有抗腐蝕涂層，可適應(yīng)惡劣條件

　　2、氣體未在泵中壓縮，適合于抽取可凝性氣體

　　3、無油耗，無滴落

　　4、結(jié)構(gòu)簡單，易于維護(hù)。

　　5、所泵送的氣體直接從泵體排出，不污染水，沒有環(huán)境壓力，更便于氣體回收。

　　1、由于螺桿泵加工困難，我國使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。

　　2、不適合泵送爆炸性氣體。

　　3、不適合除去氧氣過多的氣體。

　　隨著中國工業(yè)界的發(fā)展，在半導(dǎo)體工業(yè)的加工制造，液晶顯示器等中，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高，傳統(tǒng)的油真空泵已經(jīng)不能滿足這種要求。螺桿式干式真空泵具有抽速范圍廣，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，抽氣腔部件無摩擦，壽命長，能耗低，無油污等優(yōu)點(diǎn)，在制造和應(yīng)用領(lǐng)域具有更多優(yōu)勢。真空泵市場起著重要作用。在諸如歐美和日本的發(fā)達(dá)國家，螺桿干式真空泵在許多領(lǐng)域已逐漸取代了傳統(tǒng)的油泵。